首页 / 最新最前沿的科技成果 / 深紫外准分子激光器系列产品
主要技术指标(或参数): 输出激光波长:193nm、248nm、308nm、351nm 最大激光脉冲能量:800mJ(@248nm) 激光脉冲宽度:约 25ns 脉冲能量稳定性:<1% ● 应用领域: 脉冲薄膜沉积、光纤光栅刻蚀、紫外精细打标 ● 市场前景: 该类仪器可广泛的应用于科研、工业和医疗等领域,且可作为关键部件集成 大型激光系统中,具有很好的市场前景。据统计,我国市场年需求各种参数准分 子激光总量在 100 台以上,随着我国半导体制造行业和平板显示行业的飞速发展, 准分子激光需求量仍将有较大幅度提高。● 拟转化的方式(或合作模式): 可采用研究所与企业通过成果转让或技术入股等方式,共同推进该成果的产 业化。